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4軸真空直驅雙臂B型晶圓搬運機器人

型號： AHY系列

●高可靠真空隔離，從容應對高真空環(huán)境

●電機直接驅動(dòng)機器人運動(dòng)，提升運行可靠性

●高強度高剛性鋼帶傳動(dòng)，實(shí)現手臂高傳動(dòng)精度

●采用閉環(huán)伺服控制，實(shí)現高精度位置控制

●同時(shí)實(shí)現雙工位交換晶圓動(dòng)作（Swap）
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4軸真空直驅雙臂B型晶圓搬運機器人

4軸真空直驅雙臂B型晶圓搬運機器人
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2024 - 09 - 03
價(jià)格： AHY系列
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2024 - 09 - 03
價(jià)格： AHY系列
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2024 - 09 - 03
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