產(chǎn)品中心
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4軸真空直驅雙臂Q型晶圓搬運機器人
型號：
AHY系列
高可靠真空隔離，從容應對高真空環(huán)境
電機直接驅動(dòng)機器人運動(dòng)，提升運行可靠性
高強度高剛性鋼帶傳動(dòng)，實(shí)現手臂高傳動(dòng)精度
采用閉環(huán)伺服控制，實(shí)現高精度位置控制
同時(shí)實(shí)現雙工位交換晶圓動(dòng)作（Swap）
高可靠真空隔離，從容應對高真空環(huán)境
電機直接驅動(dòng)機器人運動(dòng)，提升運行可靠性
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采用閉環(huán)伺服控制，實(shí)現高精度位置控制
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2024
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09
-
03
價(jià)格：
AHY系列
●高可靠真空隔離，從容應對高真空環(huán)境●電機直接驅動(dòng)機器人運動(dòng)，提升運行可靠性●高強度高剛性鋼帶傳動(dòng)，實(shí)現手臂高傳動(dòng)精度●采用閉環(huán)伺服控制，實(shí)現高精度位置控制●同時(shí)實(shí)現雙工位交換晶圓動(dòng)作（Swap）
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